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微型电容式位置传感器
来源:薄膜压力传感器压力分布 | 发布时间:2018/2/17 19:42:52 | 浏览次数:

对于定位–微型电容式位置传感器

微观意义上的迷你是一个紧凑的,高分辨率的线性位移传感器专为伺服系统的反馈,特别是OEM应用。





微观意义上的迷你是精密直线位移传感器具有纳米级分辨率的测量范围可达毫米。迷你是理想的短途旅行,精密定位应用-提供位置反馈的机制,如压电驱动定位阶段,微执行器,扫描探针显微镜阶段。基于先进的电容式传感技术,微观意义上的迷你使用任何接地,导电面为目标–没有线性尺度或镜子是必需的–提供移动目标的直接测量。



纳米级分辨率的精密级范围可达200µM

高精度,快速响应- 0.02%全量程线性是典型的,没有周期性误差或滞后。

与任何导电靶、材料或成品一起工作对精度没有影响。

用超小型传感器头直接测量目标,消除ABB偏移误差

安装方便-传感器头安装在一个简单的精密孔

“机内”校准的串行通信端口

小型配置的微观意义

微观意义上的迷你包括一个紧凑的电子模块(解调器),连接电源,模拟传感器的输出和一个串行端口。

检测到目标的传感器头通过1.5米长的电缆连接到电子模块。

传感器的各种尺寸是可用的-传感器的大小取决于所需的测量范围和分辨率。

可选的低噪声隔离电源可用。

 
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