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传感器型号:6010N
来源:薄膜压力传感器 | 发布时间:2020-1-14 | 浏览次数:

传感器型号:6010N

应用示例:

•晶圆抛光机设置

•化学机械抛光

特点:适用于直径达12英寸的晶圆

要求:双手柄或两个VersaTek®手柄

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器,F-SCAN,T-SCAN,I-SCAN,K-SCAN

螺距

L W A MW MH CW碳钢数量。RW RS数量。感光密度

美制(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(每平方英寸传感器)

5620N 14.96 13.78 10.20 12.65 1.73 0.118 0.287 44 0.016 0.039 44 1936 88.4

5630N 14.96 9.84 10.20 8.66 1.73 0.118 0.197 44 0.016 0.039 44 1936 129.0

公制(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(每平方厘米传感器)

5620N 380.0 350.0 259.0 321.2 44.0 3.0 7.3 44 0.4 1.0 44 1936 13.7

模型

总体

长度

总体

宽度

制表符

长度

矩阵

宽度

矩阵

高度

列行

总数

感官

马萨诸塞州南波士顿西第一大街307号,邮编02127

传感器型号:6020N/6030N

应用示例:

•晶圆抛光

•载环调整

特征:

•适用于直径为6“、8”和12“的晶圆

•四个感应区域

要求:双手柄或两个VersaTek®手柄

分辨率

螺距

L W A MW MH CW碳钢数量。RW RS数量。感光密度

美制(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(每平方英寸传感器)

6010N 22.40 17.44 4.96 14.20 14.20 0.098 0.161 88 0.098 0.161 88 7744 38.4

公制(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(每平方厘米传感器)

6010N 569.0 443.0 126.0 360.8 360.8 2.5 4.1 88 2.5 4.1 88 7744 5.9

一般尺寸感测区域尺寸

模型

总体

长度

总体

宽度

制表符

长度

矩阵

宽度

矩阵

高度

列行

总数

感官

马萨诸塞州南波士顿西第一大街307号,邮编02127

传感器型号:6077

应用示例:车门密封件

特征:

•低压应用

•无通风口

分辨率

螺距

L W A MW MH CW碳钢数量。RW RS数量。感光密度

美制(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(每平方英寸传感器)

6077 11.50 4.78 7.35 3.75 2.10 0.050 0.075 50 0.050 0.075 28 1400 177.8

公制(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(每平方厘米传感器)

6077 292.1 121.3 186.8 95.3 53.3 1.3 1.9 50 1.3 1.9 28 1400 27.6

总体

长度

总体

宽度

制表符

长度

矩阵

宽度

列行

总数

感官

一般尺寸感测区域尺寸

模型

矩阵

高度

马萨诸塞州南波士顿西第一大街307号,邮编02127

传感器型号:6220/6230

应用示例:

•紧固件、o型环、环形垫圈、螺栓、铆钉和减震器

•类似于负载垫圈

特征:

•传感器的中心孔可以“冲出”到任何尺寸,而不会损坏传感器,从而安装各种

螺栓尺寸

•内部通风口

模型

总体

长度

总体

宽度

制表符

长度

矩阵

身份证件

矩阵

外径

平均灵敏度

空间分辨率

L W A MID MOD SW SA数量。RW RS数量。

美制(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(每平方英寸传感器)

6220 10.00 3.01 7.47 0.25 2.00 0.020 6.916 45 0.010 0.025 36 1235 471.4

6230 11.00 4.03 3.29 0.80 2.95 0.010 6.400 51 0.010 0.025 44 2244 418.3

公制(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(每平方厘米传感器)

6220 254.0 76.6 189.8 6.4 50.8 0.5 6.9 45 0.3 0.6 36 1235 73.1

6230 279.4 102.4 83.6 20.3 74.9 0.3 6.4 51 0.3 0.6 44 2244 64.8

轮辐环总数

感官

一般尺寸感测区域尺寸汇总

马萨诸塞州南波士顿西第一大街307号,邮编02127

传感器型号:6300

应用实例:车门密封件、油底壳密封件和滚筒圆度测量

特征:

•传感器可以从任何边缘切割,使其更短或更窄,而不影响输出

•内部通风口

分辨率

螺距

L W A MW MH CW碳钢数量。RW RS数量。感光密度

美制(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(英寸)(每平方英寸传感器)

6300 8.73 12.39 5.71 10.40 1.32 0.125 0.200 52 0.010 0.030 44 2288 166.7

公制(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(每平方厘米传感器)

6300 221.7 314.6 145.0 264.2 33.5 3.2 5.1 52 0.3 0.8 44 2288 25.8

总体

长度

总体

宽度

制表符

长度

矩阵

宽度

矩阵

高度

一般尺寸感测区域尺寸

模型

列行

总数

感官

马萨诸塞州南波士顿西第一大街307号,邮编02127

 
TAG:薄膜压力,Tekscan,传感器,thin,film,force,sensor,Interlink
 
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